压片间、压片前室、洁净走廊之间的压差关系

杨姐姐ms · 发表于 2021-7-22 08:37:08

欢迎您注册蒲公英

您需要登录才可以下载或查看，没有帐号？立即注册

x

请教一个问题，公司新建一个固体车间，需要过欧盟。现请教压片间、压片前室、洁净走廊之间的压差关系，应该是压片前室最大，往两边压；还是洁净走廊最大，一路往前室、压片间压？

NO1 · 发表于 2021-7-22 09:53:32

本帖最后由 NO1 于 2021-7-22 09:57 编辑

压片前室最大，往两边压。

珈蓝 · 发表于 2021-7-22 08:51:30

根据ISPE，前室其实就是起到气闸的作用，一般设计三种方式，都是合理可接受的，而作为压片前室，目的是控制污染，采用气泡增压方式，就是前室对走廊和压片间均呈正压。

北重楼 · 发表于 2021-7-22 14:42:15

前室应该属于正压气锁

吴从武 · 发表于 2021-7-22 15:11:24

为什么不是前室为负压隔离区

家康 · 发表于 2021-7-22 15:24:42

洁净走廊→前室→压片间压；产尘大的区域相对走廊等区域相对负压，这样理解即可

绿色天涯199 · 发表于 2021-7-24 11:50:02

家康发表于 2021-7-22 15:24
洁净走廊→前室→压片间压；产尘大的区域相对走廊等区域相对负压，这样理解即可

前室最大，压片间现对于前室是负压防止产尘外泄；洁净走廊相对于前室也是负压，保护操作间洁净度。

清晨的太阳 · 发表于 2021-7-25 19:49:08

进来参观一下

007me@163.com · 发表于 2021-8-9 12:37:37

应该是前室最大，防止交叉污染

zackzong · 发表于 2021-8-23 16:37:19

气闸分为4种，cascade, bubble, sink, dual-compartment。
如果走廊比其他房间的压力都高的话，可以认为走廊不受污染，这样的话可以做成洁净走廊→前室→压片间压的形式。
如果既不想粉尘从压片进入走廊，又不想走廊的空气影响压片，就需要做bubble/sink 来隔绝。具体是用哪一种不好说，最好和QA去商量，各有利弊。

杨姐姐ms · 发表于 2021-9-10 09:59:38

zackzong 发表于 2021-8-23 16:37
气闸分为4种，cascade, bubble, sink, dual-compartment。
如果走廊比其他房间的压力都高的话，可以认为走 ...

就是公司QA不给确认哪种方式，所以网上看看大家公司都是怎样的设计的。

zackzong · 发表于 2021-9-10 10:45:47

房间压力设置各种方式都有，千奇百怪的。
但是OSD一般都是洁净走廊→压片间压，设置前室的不多。因为是D级区，不测动态的。

qdxuanyu · 发表于 2021-9-27 16:59:29

前室应该是正压，没毛病

倔强的小白 · 发表于 2021-9-27 21:41:21

今天看了李宏业讲的课，说了这个问题，是走廊大于前室，前室大于压片

KenWang · 发表于 2021-9-28 08:12:24

麻烦头像修改下。

zhangzhen2134 · 发表于 2021-9-28 08:48:46

应该是前室最大，防止交叉污染

jlwang_1973 · 发表于 2022-9-27 08:28:10

根据ISPE，前室其实就是起到气闸的作用，一般设计三种方式，都是合理可接受的，但是对于控制污染来说，一般建议采用气泡增压方式，就是前室对走廊和压片间均呈正压。

[工程设计] 压片间、压片前室、洁净走廊之间的压差关系

欢迎您注册蒲公英