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Free1 发表于 2021-10-22 13:51 有个疑问,ISO14644的前身FS209E,高级别的洁净室都没有控制5.0μm的粒子,ISO14644-1999是有大粒子标准的 ...
wsx 发表于 2018-10-15 15:25 对于分级为(5A/B)的分级限度确认表,5um有d,e,f三个注释。 d:低浓度粒子的取样和统计局限性与分级不适 ...
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